牛津电子束镀膜机采用电子束加热，不用坩埚上的片作为蒸发源，可以稳定地形成多层薄膜；利用我公司*的比例控制方法和多点在线监测，可以形成高精度、稳定的光学多层膜；可以使用可操作性好的电梯来取出基板伞架。
电子束蒸发系统是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术；它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。
牛津电子束镀膜机采用均匀分布的高离子电流密度离子源，配备双电子枪，可在多点和环形坩埚中镀100层以上，采用自动蒸发控制系统实现全自动蒸发过程，工件架可以是钟罩式或行星式。
电子束镀膜机薄膜测试标准：
1.初始接触角范围为115°±5°；
2.钢丝绒摩擦阻力测试标准：使用0000#钢丝绒，面积10*10mm，行程40次/min，负载1Kg，往返摩擦5000次后接触角大于100°；
3.皮擦测试标准：直径6mm皮擦，行程25次/min，负载1Kg，往返摩擦2500次后接触角大于100°；
备注：试样的玻璃应是经过抛光的触摸屏盖板专用玻璃，表面光滑。
牛津电子束镀膜机优点：
1.提高沉积速率以获得更高的产量；
2.在半导体、光电子和光子学领域实现高精度工艺；
3.坚固耐用，易于维护。
