牛津电子束镀膜机

牛津电子束镀膜机是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术。它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5电子束蒸发镀膜机是英国牛津真空公司生产，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。

牛津电子束镀膜机技术规格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋转：0~10rpm；
- 电子束源：Telemark电子束源，单袋或多袋电子束源可选；
- 热蒸发源：多配置2套热蒸发舟(选配)；
- 腔体：不锈钢或石英腔体可供客户选择；
- 泵：前级干泵，分子泵；
- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)；
- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、远程支持；
- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；
- 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；
- 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；

参考用户：
清华大学、厦门大学、华中科大、广东工大、深圳大学、兰州理工大学、重庆石墨烯研究院等。