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QRUI-5系列探针台简介：
QRUI-5高低温真空探针台是我司自主研发的一款在特殊环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试，射频测试 ，光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷 ，可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料 ，半导体器件等研究方向具有广泛运用。一般用于相关单位实验室。
QRUI-5系列探针台产品优势：
防辐射屏和热沉设计
降温速度快 ，常温降至 77k<25mins ，大大提高测试效率
液氮自动控制系统 ，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共 同控制温度
详细参数：
产品类型 | 低温开循环 | 低温闭循环 | |
型号 | QRUI-5-196-N | QRUI-5-196-H | |
外形 | 900*900*600mm | 1000*1000*600mm | |
重量 | 约100KG | 约150KG | |
电力需求 | AC220V,50~60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔体 | 腔体尺寸 | 8英寸 ，带4英寸高红外透射率观察窗 | |
样品台尺寸 | 2英寸/4英寸 | 2英寸 | |
样品固定方式 | 真空导热硅脂/弹簧压片 | ||
真空度 | 10^-4pa最高真空 | ||
接口形式 | 电信接口 ，真空接口 ，光纤接口 ，冷源接口等 | ||
其它 | 带防辐射屏和热沉设计 | ||
温控系统 | 制冷方式 | 液氮 | 液氦 |
温控范围 | 77K~473K | 4.2K~450K | |
温控精度 | ± 0.1度 | ||
温度稳定性 | ± 0.1度 | ||
降温速度 | 常温降到77k优于25mins | 常温降到10k优于180mins | |
控制方式 | 液氮自动流量控制 | 压缩机控制 | |
光学系统 | 显微镜类型 | 体式/单筒/金相显微镜 | 体式/单筒显微镜 |
移动范围 | 水平360度旋转 ，Z轴50.8mm调焦/定制其它 | ||
真空腔观察窗尺寸 | 2inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W (模拟) /200W (数字) /500W (数字) | ||
探针臂 | 探针臂数量 | 最多6个 | |
X-Y-Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
点针精度 | 10微米/2微米 | ||
漏电精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 三轴/SMA/K/光纤接口 | ||
探针 | 频率范围 | DC-67G | |
| 1um/2um/5um/10um/20um可选 | |
材质 | 钨钢 ，铍铜 | |
真空系统 | 机械泵/分子泵组/离子泵 | |
可选附件 | 防震桌 ，镀金卡盘 ，气敏测试组件等 | |
应用方向 | 高低温真空环境下的芯片测试 ，材料测试 ，霍尔测试 ，电磁输运特性等 | |
产品特点 | 防辐射屏和热沉设计 | |
液氮自动控制系统 ，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度 | ||
降温速度快 ，常温降至77k<25mins ，大大提高测试效率 | ||
详细配置方案可讨论后给出
