光学薄膜测厚仪 薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉，干涉的发生与膜厚及折光系数等有关，因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损、且快速的光学薄膜厚度测量技术，我们的薄膜测量系统采用光干涉原