开尔文探针（Kelvin Probe）是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数（Work Function）或半导体、绝缘表面的表面势（Surface Potential）。材料表面的功函数通常由上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种的表面分析技术。主要型号：KP020 （单点开尔文探针），SKP5050（扫描开尔文探针）。